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  碳/碳復(fù)合坩堝由高強(qiáng)度碳纖維和增強(qiáng)碳基體組成的復(fù)合材料制成。使用的碳纖維具有低堿金屬雜質(zhì)含量、高強(qiáng)度和高彈性模量。它采用整體結(jié)構(gòu)和近凈成型的設(shè)計(jì)理念，通過制坯、致密化、凈化、高溫?zé)崽幚砗捅砻嫱繉犹幚砉に囍圃於?。用于制備單晶硅熱場的零件必須?jīng)過提純，保證金屬雜質(zhì)含量降低到100ppm以下，滿足制備熱場零件的要求。生產(chǎn)過程如圖3所示。碳/碳坩堝的生產(chǎn)工藝及其自身特點(diǎn)如下:

(1)碳/碳復(fù)合材料坩堝采用整體設(shè)計(jì)理念，由碳纖維增強(qiáng)碳基體制成，強(qiáng)度高，結(jié)構(gòu)簡單，重量輕，操作方便；

(2)碳/碳復(fù)合材料制成的坩堝熱膨脹系數(shù)小，抗熱震性好，在快速加熱和快速冷卻的環(huán)境下使用不開裂，使用壽命長。  

(3)生產(chǎn)流程短，生產(chǎn)和使用能耗大幅降低，主要工序在密閉設(shè)備中進(jìn)行，無有害氣體排放，對環(huán)境無不利影響；

(4)采用成熟的3D編程技術(shù)，坩堝結(jié)構(gòu)可設(shè)計(jì)性好，尺寸精度高，各種尺寸的坩堝質(zhì)量穩(wěn)定；